Carl Zeiss: 1.500stes GEMINI Rasterelektronenmikroskop an TU Dresden installiert
Carl Zeiss SMT übergab das 1.500ste Rasterelektronenmikroskop vom Typ GEMINI® an. das „Center for nondestructive nano evaluation - nanoeva® “ in Dresden. Nanoeva® ist eine Gemeinschaftseinrichtung des Instituts für Aufbau- und Verbindungstechnik der Elektronik (IAVT) der TU Dresden und des Fraunhofer Instituts für zerstörungsfreie Prüfverfahren (IZFP-D) mit seinem Dresdner Institutsteil. Wesentliches Einsatzgebiet des Elektronenmikroskops bei nanoeva® werden Forschungen für die Aufbau- und Verbindungstechnik von elektronischen und mikrotechnischen Modulen für die Systemintegration sein. Der dabei auftretende Materialmix von Silizium bis hin zu Kunststoffen erfordert angepasste Untersuchungsmethoden.
Das speziell für nanoeva® konfigurierte System bietet eine besondere Kombination von hochauflösender Abbildung von Probendetails mit zahlreichen Analysemöglichkeiten, wie zum Beispiel chemische Elementanalyse oder Größen- und Abstandsmessung mit Genauigkeiten im Millionstelmillimeterbereich.
Prof. Klaus-Jürgen Wolter vom IAVT an der TU Dresden erläutert: „Spitzenforschung für die Mikro- und Nanotechnologien benötigt hochleistungsfähige Werkzeuge zur Analyse und Visualisierung von Proben. Das GEMINI® Rasterelektronenmikroskop von Carl Zeiss ergänzt die Reihe unserer Untersuchungswerkzeuge ideal. Sowohl für eigene Arbeiten als auch für Kundenaufträge können wir jetzt aus dem sprichwörtlich Vollen schöpfen. Die Brücke von Forschung und Lehre zu industrieller Entwicklung ist damit noch breiter und leistungsfähiger geworden.“
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